Möglichkeiten der Qualitätssicherung bei Halbleiterbauelementen Die Entwicklung der Elektronik hat in den letzten drei Jahrzehnten hinsichtlich der Informationsverarbeitung weitreichende Fortschritte gemacht. Als vielleicht wichtigstes Glied in der Produktkette ist die Entstehung des integrierten Schaltkreises (lC= integrated circuit) zu nennen. Hier sind hinsichtlich Komplexität und Integrationsdichte Bauelemente entstanden, die bei nahezu konstantem Preis mehr als eine…